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設備特點
GNX300B擁有BG研磨專利技術。
日本機械學會授予岡本標準傳送方式及向下研磨方法技術獎
主軸機械精度可調
岡本自產鑄金一體化結構，不易老化
潤滑系統有完善防護，避免異物進入造成磨損
適用晶圓尺寸：6”、8”、12” 最大晶圓厚度： 1000μm
可切換全自動、半自動操作模式
17 寸觸控操作與監控屏，監控氣壓、電流、水流、厚度等
研磨耗材損耗小，加工成本低廉
研磨硅屑細小，沖洗更干凈
設備規格
項目 | 參數 |
規格 | GNX300B |
最大加工直徑 | Ф300㎜ |
主軸轉速范圍 | 0~3000rpm |
主軸驅動電機功率 | 5.5kW/4kW |
研磨輪尺寸 | Ф300㎜ |
設備整重 | 5700kg |
