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岡本OKAMOTO全自動晶圓背面減薄機研磨機GNX200B
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所屬類別:岡本半導體設備
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  • 產品概述

設備特點

1.研削加工技術:日本機械學會授予岡本標準傳送方式及向下研磨方法技術獎。

2.機械精度的調整方法:通過主軸進行調整(*有),因為可進行原點定位,所以精度調整相當*;可2處調節。

3.標準驅動方式:齒軸+定位銷進行定位,長年使用也不會發生位移。

4. 標準潤滑方式:潤滑油及防護罩,防止進入異物造成磨損。

5.  設備剛性:高剛性,不會因老化造成精度變化,部件由岡本自產鑄金一體化生產。


規格參數

項目

參數

規格

GNX200B

最大加工直徑

Ф200㎜

主軸轉速范圍

0~3600rpm

主軸驅動電機功率

2.2kW/4kW

主軸進給速度范圍

1~999μm/min

主軸數

2

工作盤轉速范圍

1~300rpm

研磨輪尺寸

Ф250㎜

設備整重

3900kg